シンポジウム

19p-TJ - 1～8

• 1イントロダクトリー「機能性酸化物における評価技術：なにがどこまでわかるのか？」（10分）東大院工¹，JST-さきがけ²，東大放射光機構^{3 ○}組頭広志^1,2,3
• 2短波長レーザーアトムプローブによる酸化物の３次元原子トモグラフィー（35分）NIMS ^○宝野和博
• 3 パルス光加熱サーモリフレクタンス法による薄膜の熱物性評価（35分）ピコサーム¹，産業技術総合研究所^{2 ○}石川佳寿子¹，馬場哲也²
• 4 酸化物薄膜の"実態"を知る～STM/STSからのアプローチ～（35分）東北大WPI-AIMR ^○一杉太郎，岩谷克也，大澤健男，清水亮太，橋詰富博
•  休憩　15:25～15:40
• 5 X線回折法による酸化物薄膜の三次元構造観測（35分）阪大基礎工 ^○若林裕助
• 6 高分解能透過型電子顕微鏡法を用いた酸化物材料の構造解析（35分）東大新領域 ^○山本剛久
• 7 放射光光電子分光によるhigh-k材料の深さプロファイリング（35分）東大院工¹，JST-CREST²，東大放射光機構^{3 ○}豊田智史^1,2,3
• 8 まとめ「機能性酸化物における評価技術：なにがどこまでわかるのか？」（10分）産総研ナノ電子デバイス ^○秋永広幸