シンポジウム
プラズマエレクトロニクス分科会企画「プラズマとナノ界面の相互作用～プロセス揺らぎの制御を目指して～」
3月17日 13:30～16:45 会場：6号-ZG
<13:15〜13:30はプラズマエレクトロニクス賞表彰式>
17p-ZG - 1～6
- 1プラズマプロセス揺らぎの制御を目指して（30分）九大シス情 ○白谷正治
- 2 ナノ界面プラズマを作る（30分）東大新領域 ○寺嶋和夫
- 3 生体ミクロ構造体表面での相互反応ダイナミクス（30分）名城大理工1，和歌山大シス工2，名大院工3 伊藤昌文1，○太田貴之2，竹田圭吾3
- 休憩 15:00～15:15
- 4 ナノ界面プラズマを理論的に見る ～プラズマ物質相互ダイナミクスにおける粒子輸送と熱的作用～（30分）首都大院理工 ○杤久保文嘉，白井直機，内田 諭
- 5 ナノ界面プラズマを使う～プラズマナノ加工の科学と技術～（30分）京大工 ○斧 高一
- 6 まとめと展望～プラズマプロセスのナノスケール揺らぎの制御に向けて～（30分）名大院工 ○白藤 立
