シンポジウム

17p-TN - 1～6

• 1はじめに（20分）東大生研 ^○岡野達雄
• 2 大型基板用の薄膜堆積装置（40分）キヤノンアネルバ ^○中村　昇，青沼大介，児玉　晃，石原雅仁
• 3 大型ガラス基板へのスパッタリング装置（技術）（40分）千葉超材料研究所¹，FPD事業部^{2 ○}新井　真¹，佐藤善勝²，清田淳也¹，佐藤重光²
•  休憩　14:40～14:55
• 4 大型加速器における真空システム - KEKB加速器を例にして - (40分)KEK ^○末次祐介
• 5 宇宙開発を支える大型真空システム（40分）JAXA ^○安藤麻紀子
• 6 おわりに（5分）物材機構 ^○土佐正弘