8. プラズマエレクトロニクス

8.2 プラズマ診断･計測

3月17日　9:30～18:00　　会場：6号-ZC

17a-ZC - 1～11

  • 1蛍光ランプにおける電極温度とエミッター粒子放出のガス種の影響九大総理工1，パナソニックライティング社2 ○山形幸彦1，内藤　奨1，富田健太郎1，内野喜一郎1，甲斐　誠2，真鍋由雄2
  • 2 CW チタンサファイヤレーザのSHG光による対向ターゲットスパッタプラズマ中のTi原子密度計測東京工芸大工 ○安田洋司，小野裕輔，西宮信夫，鈴木正夫
  • 3 光電子制御プラズマCVDによる多層グラフェン成長(8) : Arプラズマ放電特性と発光分光観察東北大多元研1，CREST-JST2，富士通3 ○加賀利瑛1，大友悠大1，小川修一1,2，佐藤元伸2,3，二瓶瑞久2,3，高桑雄二1,2
  • 4 光電子制御プラズマCVDによる多層グラフェン成長(9):H2プラズマ放電特性と発光分光観察東北大多元研1，CREST-JST2，富士通3 ○（B）大友悠大1，加賀利瑛1，小川修一1,2，佐藤元伸2,3，二瓶瑞久2.3，高桑雄二1,2
  • 5 水素原子バルマーアルファ線の半導体レーザー吸収分光計測における飽和特性名大工1，核融合研2，名大プラズマナノ3 ○浅川れんげ1，後藤基志2，佐々木浩一3
  •  休憩　10:45～11:00
  • 6 水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討名大工1，名大プラズマナノ2 ○鎌田安住1，楊　海鵬1，石島達夫2，豊田浩孝1,2
  • 7 パルス大気圧マイクロホローカソード放電プラズマの初期状態の診断防衛大電気電子 ○中野俊樹，和氣信弥，北嶋　武
  • 8 並行平板型誘電体バリア放電における電子密度分布の分光診断京大院工1，愛媛大工2 ○（D）占部継一郎1，Joon-Young Choi1，酒井　道1，橘　邦英2
  • 9 レーザートムソン散乱法を用いたパルスフィラメント放電の電子密度・電子温度計測九大総理工 ニマ ボロウキ，四郎園啓希，○富田健太郎，内野喜一郎
  • 10 SiH4/H2マイクロ波プラズマの気相診断名大工1，名大プラズマナノ2 ○黒田俊之1，石島達夫2，豊田浩孝1,2
  • 11 薄膜太陽電池プロセス用プラズマのレーザー散乱計測九大総理工 ○陳　韋廷，小松亮太，木村雄起，富田健太郎，内野喜一郎，河合良信
  •  昼食　12:30～13:30

17p-ZC - 1～17

  • 1 ソリューションプラズマ反応場の分光学的解析名大院工1，名大エコトピア2，CREST/JST3 ○田中秀和1，稗田純子1，Maria Bratescu1，齋藤永宏2,3，高井　治1,3
  • 2 発光分光法を用いたAr準安定原子の数密度空間分布測定慶応義塾大学 真壁利明，大場富仁，○高橋一輝
  • 3 2次元時間分解発光分光分析によるAr-ICPのE-H遷移機構の研究慶應義塾大学 森下智史，林雄一郎，三井　鷹，○真壁利明
  • 4 Ar+H2+C7H8 プラズマの電子密度計測九大シス情1，阪大接合研2，名大院工3，JST,CREST4 ○野村卓矢1，是永有輝1，松崎秀文1，古閑一憲1,4，白谷正治1,4，節原裕一2,4，関根　誠3,4，堀　　勝3,4
  • 5 二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(II)名大院工1，JST-CREST2，東京エレクトロンAT3 ○（D）山口　剛1，木村哲也1，竹田圭吾1,2，輿水地塩3，関根　誠1,2，堀　　勝1,2
  • 6 TiCl4への電子衝突によるTiCl2ラジカル生成断面積測定名大工1，名大プラズマナノ2，東京エレクトロン3 ○齊藤耕平1，関根　誠1,2，堀　　勝1,2，豊田浩孝1,2，康　松潤3，沢田郁夫3
  • 7 メタンプラズマ下流域における中性化学種のLi+付着質量分析九州大院総理工 ○古屋謙治，井手章博，原田　明
  • 8 酸素によるアモルファス炭素膜の酸化過程長崎大院生産科学1，長崎大工2，トーヨーエイテック3 ○（M1）河上貴聡1，川副大樹1，稲吉孝紀1，原幸二郎2，篠原正典1，松田良信2，藤山　寛1，新田祐樹3，中谷達行3
  • 9 放電電力摂動のイオン密度への影響九大シス情 ○宮田大嗣，岩下伸也，山田泰之，古閑一憲，白谷正治
  •  休憩　15:45～16:00
  • 10 新エミッシブプローブ法によるRFプラズマの電子エネルギー分布測定(II)東海大院工1，東海大情報理工2，日本高周波3 ○中崎嘉信1，藤本優眞2，木村康人1，草場康太3，進藤春雄1,2
  • 11 マルチ共振型周波数シフトプローブの検討中部大工 張　　祺，○中村圭二，菅井秀郎
  • 12 フィルター無し水晶振動子センサーによるプラズマ計測産総研計測フロRI ○鈴木　淳，野中秀彦
  • 13 H2-N2グロー放電プラズマの電子状態II電機大・工 ○仲田英起，清水文隆，須田健一，和賀井達也，本橋光也，本間和明
  • 14 多面体ホルダによるLHD 内ダストのin-situ 捕集九大シス情1，核融合研2 ○宮田大嗣1，岩下伸也1，山田泰之1，古閑一憲1，白谷正治1，芦川直子2，増崎　貴2，西村清彦2，相良明男2，実験グループ Lhd2
  • 15 高温タングステン試料へのプラズマ熱流束計測阪府大工1，九大応力研2 ○松浦寛人1，東園雄太2，坂本瑞樹2
  • 16 誘導結合プラズマ支援スパッタ過程における基板入射熱流束長崎大生産科学研究科1，長崎大工2 閑　亮史1，北川博章1，篠原正典1，○松田良信2
  • 17 Al添加ZnO薄膜のICP支援スパッタ過程における金属原子の挙動長崎大生産科学研究科1，長崎大工2 岩田　忠1，小峰一輝1，進藤亮太1，篠原正典1，○松田良信2