6. 薄膜・表面

6.1 強誘電体薄膜

3月17日 9:30~18:15  会場:14号-TR

17a-TR - 1~11

  • 1 超高速化量子分子動力学法を用いたBaTiO3の酸素欠損影響解析東北大院工1,東北大未来セ2 近藤賢治1,三浦隆二1,鈴木 愛2,坪井秀行1,畠山 望1,遠藤 明1,高羽洋充1,久保百司1,宮本 明1,2
  • 2 分極軸単一配向した歪みの少ないエピタキシャル正方晶Pb(Zr,Ti)O3厚膜を用いたソフトモードによる強誘電性の見積もり東工大院1,産総研2 江原祥隆1,宇津木覚1,中島光雅1,山田智明1,飯島高志2,舟窪 浩1
  • 3 PbTiO3のコヒーレントフォノン計測東工大応セラ研1,東工大物質創造2 小口寛彬1,2,高橋弘史1,2,中島光雅2,宇津木覚2,舟窪 浩2,中村一隆1,2
  • 4 テラヘルツ-エリプソメトリ分光法を用いたPt/MgO基板上に成膜した3軸配向SrTiO3薄膜におけるソフトフォノンハードニングの観測村田製作所1,阪大レーザー研2 松本直樹1,2,細倉 匡1,長島 健2,萩行正憲2
  • 5 Pb(Zr,Ti)O3薄膜のPhotovoltaic特性にリーク電流が及ぼす影響名工大院 松山雅之,五味 學,横田壮司
  •  休憩 10:45~11:00
  • 6 電荷秩序型強誘電体YbFe2O4エピタキシャル薄膜の電気伝導特性大阪府立大院工 廣瀬浩次,吉村 武,芦田 淳,藤村紀文
  • 7 Pt電極上YbFe2O4エピタキシャル薄膜の成長とその電気特性阪府大工 ○(B)湯川博喜,廣瀬浩次,吉村 武,芦田 淳,藤村紀文
  • 8 三角格子反強磁性体InFe2O4薄膜の作製と電気磁気特性東大院工 関 宗俊,岩本藤行,小埜洋輔,田畑 仁
  • 9 レーザ顕微鏡によるNaNbO3薄膜のドメイン観察龍大理工 山添誠司,櫻井裕之,和田隆博
  • 10 AFMによるPbTiO3薄膜及びナノ島の分極反転電流の測定(II)兵庫県大工 山田耕生,清王義弘,中嶋誠二,藤沢浩訓,清水 勝
  • 11 ラマン分光法を用いたチタン酸鉛膜のドメイン形成過程のその場観察高知工大1,防衛大2,東工大3 西出正道1,松岡将史1,田井丈詞1,西田 謙2,山本 孝2,舟窪 浩3,河東田隆1
  •  昼食 12:30~13:30

17p-TR - 1~18

  • 1 原子平坦サファイア基板上へのPbTiO3ナノ結晶アレイの作製と評価奈良先端大1,原子力機構2,物材研3,CREST4 西田貴司1,米田安宏2,田村和久2,松村大樹2,木村秀夫3,堀田昌宏1,上沼睦典1,4,内山 潔1,浦岡行治1,4
  • 2 MOCVD法によるPZT/ZnO積層ナノロッドの作製(II)兵庫県大1,富士通研2 伊美泰徳1,久利龍平1,中嶋誠二1,藤沢浩訓1,清水 勝1,小高康稔2,本田耕一郎2
  • 3 方位制御されたエピタキシャルBiFeO3薄膜の結晶構造、電気特性評価東理大1,東北大2 曽根圭太1,永沼 博2,中嶋宇史1,岡村総一郎1
  • 4 PLD法によるITO基板上BiFeO3薄膜の作製と評価阪大院基礎工1,阪大ナノデザイン教育研究センター2,兵庫県立大院工3 ○(M2)朴 正敏1,後藤田文也1,中嶋誠二3,金島 岳1,奥山雅則2
  • 5 イオンビームスパッタ法を用いたBiFeO3薄膜の作製とその評価兵庫県大工1,阪大院基礎工2 辻田陽介1,茅原智志1,中嶋誠二1,藤澤浩訓1,朴 正敏2,金島 岳2,奥山雅則2,清水 勝1
  • 6 Characteristics of Mn-doped BiFeO3 films formed on bottom LaNiO3/Pt(111) and SrRuO3/Pt(111) electrodes by rf-sputtering東京工業大学1,富士通研究所2 金 正桓1,舟窪 浩1,杉山芳弘2,石原 宏1
  • 7 Pt,LaNiO3,SrRuO3を電極として用いたCrドープBiFeO3薄膜の強誘電性、絶縁性の評価東工大総理工 ○(M2)古川 晋,金 正恒,舟窪 浩,石原 宏
  • 8 Chemical Solution Deposition法によるPr,Mn二元素置換BiFeO3薄膜の作製と評価金沢大工1,金沢大院自然2,東京理科大3 中井裕和1,橋本卓也1,寺内裕紀2,中嶋宇史3,川江 健2,岡村総一郎3,森本章治2
  •  休憩 15:30~15:45
  • 9 第一原理計算によるBiCoO3の正方晶起源の研究富士フイルム 奥野幸洋,坂下幸雄
  • 10 巨大正方歪みを有する(1-x)BiFeO3-xBiCoO3薄膜の作製と評価京大化研 ○(D)中村嘉孝,河合正徳,東 正樹,島川祐一
  • 11 X線回折によるBi1.1Fe0.9Co0.1O3 薄膜の結晶特性評価京工繊院工芸1,ブルカー・AXS2,阪大院基礎工3 野田 実1,3,斎藤啓介2,Nguyen Truong Tho3,山下 馨1,3,奥山雅則3
  • 12 BiFeO3エピタキシャル薄膜の強誘電特性に対する格子不整合歪の影響大阪府立大院・工 ○(M2)氏本勝也,吉村 武,藤村紀文
  • 13 マルチフェロイックBiFeO3-BaTiO3薄膜の作製と評価名大エコトピア研 坂本 渉,伊藤裕矢,守谷 誠,余語利信
  • 14 エピタキシャルBi(Zn1/2Ti1/2)O3-BiFeO3系薄膜の正方晶性制御東工大1,ブルカーAXS2,上智大3 ○(DC)安井伸太郎1,矢澤慶祐1,山田智明1,2,森岡 仁1,2,内田 寛3,舟窪 浩1
  • 15 BiFeO3-Bi(Ti,Mg)O3薄膜のその場レーザー光照射による結晶化兵工技セ1,阪府大工2 泉 宏和1,氏本勝也2,吉村 武2,藤村紀文2
  • 16 PLD法によるBi1Nd0.05Fe0.97Mn0.03O3/Pt/CoFe2O4積層膜の作製と強誘電・強磁性特性の評価金沢大院自然1,東北大院工2,東京理科大3,物材機構4 胡  潔1川江 健1,永沼 博2,中嶋宇史3,寺内裕紀1,金 兌映4,安藤康夫2,岡村総一郎3,森本章治1
  • 17 Pr, Mn ニ元素置換BiFeO3薄膜の低温物性評価金沢大院1,石川高専2 野村幸寛1,寺内祐紀1,川江 健1,山田 悟2,森本章治1
  • 18 磁性強誘電体YMnO3薄膜のネール点近傍における強誘電性分極反転ダイナミクス阪府大院工1,学振2 ○(DC)前田和弘1,2,吉村 武1,藤村紀文1

6.1 強誘電体薄膜

3月18日 10:00~18:30  会場:14号-TR

18a-TR - 1~11

  • 1水熱合成法により形成されたPbTiO3膜の構造に対する成膜温度の影響UBE 科学分析センター1,山口大院理工2 二井裕之1,2,國重敦弘1,中川浜三1,小柳 剛2
  • 2 CaF2基板上の作製した菱面体組成エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3膜の結晶構造および強誘電特性東工大院1,ブルカーAXS2 江原祥隆1,宇津木覚1,中島光雅1,森岡 仁1,2,山田智明1,舟窪 浩1
  • 3 SrTiO3(001)傾斜基板へのPbTiO3薄膜の作製兵庫県立大 家根大彰,長副 亮,比企透雄,中嶋誠二,藤澤浩訓,清水 勝
  • 4 自動ゾルゲル成膜装置を用いたPZT厚膜の成膜および評価東北大学工 森脇政仁,川合祐輔,小野崇人,江刺正喜
  • 5 水熱合成法を用いたエピタキシャルKNbO3薄膜の方位制御東工大総理工 榮西 弘,石河睦生,中島光雅,安井伸太郎,山田智明,黒澤 実,舟窪 浩
  •  休憩 11:15~11:30
  • 6 歪みエピタキシャル(Ba,Sr)TiO3薄膜における誘電特性の配向依存性東工大1,産総研2 山田智明1,多久和至1,加茂嵩史1,飯島高志2,舟窪 浩1
  • 7 電気泳動法による強誘電体BaTi2O5厚膜の作製と評価東理大理1,産総研2 西村和浩1,島 宏美1,李 鳳淵2,飯島高志2,中嶋宇史1,岡村総一郎1
  • 8 易分解性前駆体を用いたBST誘電体膜のモフォロジーおよび電気特性制御三菱マテリアル中央研究所1,三菱マテリアル三田工場2 渡辺敏昭1,2,桜井英章1,曽山信幸2
  • 9 PLD法で作製したBaTiO3-Bi(Mg0.5Ti0.5)O0.5エピタキシャル薄膜の結晶構造と電気特性評価東工大院1,山梨大2,産総研3,上智大4,東理大5 田中秀典1,山田智明1,安井伸太郎1,大和慶祐2,柏木悠太3,5,岡村総一郎5,内田 寛4,和田智志2,飯島高志3,舟窪 浩1
  • 10 MBi4Ti4O15 (M = Ca, Sr) 薄膜の高温誘電特性上智大理工1,京都工繊院2,東工大物創3 水谷佑樹1内田 寛1,野田 実2,舟窪 浩3
  • 11 インクジェット用強誘電体インクの安定性改善芝浦工大工 大場友裕,前田慎弥,山口正樹
  •  昼食 13:00~14:00

18p-TR - 1~17

  • 1 ゾルゲル法による酸化物チャネル薄膜トランジスタの作製東工大精研 ○(M2)奥村優作,徳光永輔
  • 2 IGZO-channel non-volatile memory TFTs with ferroelectric polymerP and I Lab, Tokyo Tech1,ETRI2,Tokyo Tech3,Hitachi Ltd4 Gwang Geun Lee1,Sung Min Yoon2,Joo Won Yoon3,Yoshihisa Fujisaki4,Hiroshi Ishiwara3,Eisuke Tokumitsu1
  • 3 Au/BNFM/Nb:STO構造を用いたMFS型キャパシタの作製と評価金沢大院自然1,金沢大工2 ファラ アシキン アリ1,長田潤一2,野村幸寛1,川江 健1,森本章治1
  • 4 単結晶SrTiO3をバッファ層に用いた強誘電体ゲートトランジスタの特性 II東工大総理工1,ETRI2 笠原直也1,尹 聖民1,2,馬淵貴也1,井上和彦1,石原 宏1
  • 5 ペンタセン上でのP(VDF-TrFE)スピンコーティングにおける特性劣化の溶液依存性東工大総理工1,韓国電子通信研究院2 馬淵貴也1,尹 聖民1,2,石原 宏1
  • 6 極薄P(VDF-TeFE)の作製とそのメモリFET応用阪大基礎工1,阪大ナノサイエンスデザイン教育研究センター2 渡邊友浩1金島 岳1,奥山雅則2
  • 7 高分子強誘電体/有機半導体積層膜における強誘電スイッチング特性東理大理 中嶋宇史,中村茉里香,古川猛夫,岡村総一郎
  • 8 Electrical characteristics of p-ch Si MFIS-FETs using P(VDF-TrFE) thin films東工大1,ETRI2 尹 珠元1,尹 聖民1,2,石原 宏1
  •  休憩 16:00~16:15
  • 9 (Bi1.0Pr0.10)(Fe0.97Mn0.03)O3を用いたMFIS構造の作製と評価金沢大院自然1,金沢大工2 西岡直紀1,橋本卓也2,猪阪直也1,寺内裕紀1,中井裕和2,川江 健1,佐々木公洋1,森本章治1
  • 10 PZT強誘電体キャパシタにおける多値メモリの安定性阪大院基礎工1,阪大2 Damian Nicastro1Dan Ricinschi1,金島 岳1,奥山雅則2
  • 11 ZnO/PZT積層構造を用いた強誘電体メモリスタパナソニック先端研 金子幸広,田中浩之,上田路人,藤井映志
  • 12 分極機能型強誘電体ゲートTFTのデバイス特性評価阪府大工 ○(D)福島匡泰,吉村 武,前田和弘,芦田 淳,藤村紀文
  • 13 ZnOナノロッドをチャネルに用いた強誘電体ゲートトランジスタの作製(III)兵庫県大工 納多真輝,鈴木泰斉,久利龍平,伊美泰徳,中嶋誠二,藤沢浩訓,清水 勝
  • 14 強誘電体ディスクリート媒体の作製とデータ記録に関する研究東北大通研 隅山直樹,平永良臣,長 康雄
  • 15 サーボ・トラッキング法を用いた強誘電体高密度記録東北大 田中健巧,長 康雄
  • 16 DRAM キャパシタ用多元素系高誘電率膜の開発広大RNBS 大和昌樹,吉川公麿
  • 17 強誘電体薄膜センサへの応用へ向けたγ-Al2O3(001)選択エピタキシャル成長豊橋技科大工1,豊橋技科大VBL2,JST-CREST3 大石浩史1,菅井隆博1,小澤 学1,赤井大輔2,石田 誠1,3

6.1 強誘電体薄膜

3月19日 9:00~12:00  会場:14号-TL

19a-TL - 1~11

  • 1ナノインデンテーション法によるSi基板上のAl2O3薄膜の機械特性評価オミクロンナノテクノロジージャパン1,産業技術総合研究所、計測標準研究分門2 Thithi Lay1,大川登志郎1,北村陽嗣1,吉原一紘1,松林信行2,今村元康2,小島勇夫2
  • 2 レーザードップラ変位計を用いたPZT薄膜の高周波圧電変位特性評価産業技術総合研究所 李 鳳淵,飯島高志,福山誠司
  • 3 幾何学的位相解析によるPbTiO3薄膜90ドメインの局所歪み場解析東北大金研1,東北大院工2,東工大院総理工3 木口賢紀1,今野豊彦1,青柳健大2,宇津木悟3,山田智明3,舟窪 浩3
  • 4 強誘電体薄膜の正圧電特性と振動発電素子への応用大阪府立大1,府立産技総研2 ○(B)宮渕弘樹1,吉村 武1,村上修一2,藤村紀文1
  • 5 エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性京大院工 赤間健司,神野伊策,和佐清孝,小寺秀俊
  •  休憩 10:15~10:30
  • 6 配向制御したBaTiO3膜の結晶構造および圧電特性評価京大院工 今井英之,神野伊策,和佐清孝,小寺秀俊
  • 7 パルスレーザー蒸着法によるSi基板上へのNaNbO3薄膜の形成龍谷大理工 深田正紀,山添誠司,和田隆博
  • 8 PLD法による (Na0.5K0.5)NbO3-BaZrO3-(Bi0.5Li0.5)TiO3非鉛圧電薄膜の作製龍谷大理工 三好雄三,服部貴文,山添誠司,和田隆博
  • 9 スパッタ法によるc軸配向(K,Na)NbO3薄膜の圧電特性日立電線 柴田憲治,末永和史,渡辺和俊,堀切文正,野本 明,三島友義
  • 10 c軸配向(K,Na)NbO3薄膜における結晶格子歪みと圧電特性の関係日立電線 末永和史,柴田憲治,渡辺和俊,野本 明,堀切文正,三島友義
  • 11 PLD法による(001), (110), (111)SrTiO3基板へのAgNbO3膜の作製龍谷大理工 櫻井裕之,山添誠司,和田隆博