18. 応用物理一般

18.3 新技術

9月14日 14:45〜17:15  会場:総合-ZG

14p-ZG - 4〜12

  • 1〜314:00~14:45(18.4 トライボロジー)
  • 4I2-ICPによるSiの反応性イオンエッチング東工大半導体MEMS支援センター1,サムコ2,東工大精研3 松谷晃宏1,大槻秀夫2,小山二三夫3
  • 5多孔質構造を有するイオン感応性電界効果トランジスタ北大量集セ 佐藤威友,岡崎拓行
  • 6土壌で計測可能な水分量センサの製作豊橋技術科学大1,愛知県農業総合試験場2 Iqramul Hussain1,二川雅登1,釜戸敬太1,川嶋和子2,石田 誠1,澤田和明1
  • 7Pd-Ag陰極有機EL水素ガスセンサのAg薄膜のAFM観察山形大工 奥山澄雄,望月 翔,原田知親,松下浩一
  • 8パラジウムの水素吸蔵時の発熱を利用したマイクロ水素センサの検討東北学院大工1,MDI2 高嶋徳明1,阿部康弘2,木村光照1
  • 9Cu電極を持つゾル-ゲル法で作製したSnO2焼結体の電気伝導中部大工 木村吉孝,田橋正浩,後藤英雄,井戸敏之
  •  休憩 16:15〜16:30
  • 10酸化スズガスセンサのセンサ特性に及ぼす印加電圧と電極ギャップの効果東大院工1,ウチヤ・サーモスタット2 飯塚和幸1,2,神原 淳1,吉田豊信1
  • 11TiS2膜の硫黄熱処理による酸素ガス応答の改善九州大 三原浩太,山口洋平,竹之下翔吾,神崎雅俊,栗焼久夫
  • 12触媒化学発光ガスセンサを用いた吸入麻酔薬の連続モニタリング千科大危1,岡理大理2 岡林 徹1,尾崎眞啓2,中川益生2