8. プラズマエレクトロニクス

16a-ZF - 1〜11


• 1直流プラズマCVDによる配向カーボンナノチューブの大面積成長京工繊大工芸¹，日新電機^{2 ○}澤田秀人¹，田路翔一¹，林　康明¹，松葉晃明²，宇都宮里佐²
• 2マイクロ波プラズマCVDによるグラフェン膜の低温合成産総研 ^○金　載浩，石原正統，古賀義紀，津川和夫，長谷川雅考，飯島澄男
• 3超高速DLC成膜プロセス開発のための基礎研究名大院工 ^○岡本隆志，上坂裕之，梅原徳次
• 4MVP法により細穴内面に成膜されたDLC膜の軸方向の均一化名大院工マイクロ¹，名大院工機械^{2 ○}森　一憲¹，上坂裕之²，梅原徳次²
• 5オンウェハモニタリングによるPE-CVDプロセスにおけるチャージングダメージの発生メカニズム解明とそのリアルタイム評価東北大流体研 ^○荒木良亮，奥村宏克，陣内佛霖，松永範昭，寒川誠二
• 6プラズマCVD法を用いたSi,H含有CNx膜の超低摩擦発現名大院工機械¹，トヨタ自動車^{2 ○}榊原啓功¹，上坂裕之¹，野老山貴行¹，梅原徳次¹，不破良雄²
•  休憩　11:30〜11:45
• 7新規マイクロ波PCVDによるシリコン薄膜の高品質化名大工¹，名大プラズマナノ^{2 ○}坂井淳二¹，伊藤裕紀¹，石島達夫²，豊田浩孝^1,2
• 8水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜の成膜名大¹，JST-CREST^{2 ○}川嶋　翔¹，阿部祐介¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 9プラズマCVD炭素薄膜の製膜形状の基板温度依存性九大シス情¹，阪大接合研²，名大院工³，JST,CREST^{4 ○}野村卓矢¹，浦川達也¹，是永有輝¹，山下大輔¹，松崎秀文¹，古閑一憲^1,4，白谷正治^1,4，節原裕一^2,4，関根　誠^3,4，堀　　勝^3,4
• 10SiH₄+ B₁₀H₁₄マルチホロー放電プラズマCVD法を用いたBドープa-Si:Hの製膜九大 ^○（M1）中原賢太，川嶋勇毅，松永剛明，佐藤宗治，山本康介，中村ウィリアム誠，内田儀一郎，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治，山下大輔，松崎秀文
• 11高ガス圧力微結晶シリコン製膜条件における結晶化率2次元分布九大 ^○（M1）松永剛明，川嶋勇毅，古閑一憲，中原賢太，佐藤宗治，山下大輔，内田儀一郎，鎌瀧晋礼，板垣菜穂，白谷正治
•  昼食　13:00〜14:00

16p-ZF - 1〜17

• 1ポリマー基板上DLC膜のシリコン・酸素ドープによる密着性向上名大工院¹，名大エコトピア^{2 ○}白　相民¹，白藤　立¹，齋藤永宏²，高井　治^1,2
• 2Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御名大工¹，名大プラズマナノ工学センター^{2 ○}九鬼　淳¹，木野徳重¹，竹田圭吾¹，石川健治^1,2，近藤博基¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 3アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果名大院工¹，名大プラズマナノ工学センター^{2 ○}木野徳重¹，近藤博基¹，石川健治^1,2，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 4各種プラズマによる炭素材料表面におけるナノサイズ突起の生成群馬高専¹，東工大^{2 ○}清水孝浩¹，狩野貴史¹，鈴木淳史¹，加藤正明¹，大手丈夫¹，安田榮一²
• 5低温プラズマによって炭素材料表面に形成される微細針状構造群馬高専¹，東工大^{2 ○}狩野貴史¹，鈴木敦史¹，加藤正明¹，太田道也¹，大手丈夫¹，安田榮一²
• 6ＰＥＧ重合ポリマー表面上へのシステイン固定化におけるＯＨ基添加の効果静大創造科技院 ^○（D）Zhenyi Shao，荻野明久，永津雅章
• 7表面波励起プラズマ処理によるポリイミドフィルムの密着性向上名大工¹，東洋紡²，中部大^{3 ○}宇佐見健二¹，石島達夫¹，豊田浩孝¹，伊関清司²，菅井秀郎³
• 8Tiターゲットを用いた反応性スパッタ成膜プロセスのin-situ解析、(I) TiO₂成膜青山学院大理工 ^○岡　伸人，伊藤宜弘，宮武正平，重里有三
• 9Tiターゲットを用いた反応性スパッタ成膜プロセスのin-situ解析、(II) TiN_X成膜青山学院大 ^○小澤正和，塚本直樹，岡　伸人，重里有三
•  休憩　16:15〜16:30
• 10H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討名大院工¹，JST-CREST²，富士機械製造^{3 ○}乾　裕俊¹，吉田直史³，竹田圭吾¹，近藤博基¹，石川健治¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 11大気圧プラズマジェットを用いた高品質アパタイト結晶パターンの形成信州大院工¹，信州大工²，東大院工^{3 ○（M1）}榎本弘美¹，手嶋勝弥²，李　先炯²，田嶋聡美³，土屋章一³，一木隆範³，大石修治²
• 12スリットノズル型大気圧プラズマジェットの開発豊田工大院工 ^○高田龍二，大嶋伸明，原　民夫
• 13大気圧プラズマジェットによる各種材料表面での親水性の変化東海大工 ^○桑畑周司，竹原健悟
• 14気液混合相プラズマジェットによるはっ水膜形成名大院工¹，名大エコトピア²，CREST/JST^{3 ○}高橋嘉仁¹，稗田純子¹，白藤　立¹，齋藤永宏^2,3，高井　治^1,2,3
• 15リモート大気圧プラズマ処理による金属酸化膜の表面改質京大院工 ^○上田芳彦，酒井　道
• 16大気圧プラズマを用いたグラフト重合・架橋複合処理による持続的親水性表面の形成名大院工¹，名大エコトピア^{2 ○}栗木貴史¹，白藤　立¹，趙　星彪¹，齋藤永宏²，高井　治^1,2
• 17大気圧プラズマによるポリカーボネート上へのSi系薄膜の形成名工大 ^○粕谷幹俊，安井晋示，野田三喜男

17a-ZF - 1〜11


• 1スパッタ／イオン照射複合プロセスを用いた低温合成におけるイオン照射の影響金沢工業大 ^○倉地祐也，干野雄二郎，池永訓昭，岸　陽一，矢島善次郎，作道訓之
• 2ホロカソード電子源を用いた電子ビーム励起プラズマプロセス装置の開発と機能性部材への応用名大院工¹，片桐エンジニアリング^{2 ○}堀　　勝¹，近藤博基¹，竹田圭吾¹，山川晃司²，田　昭治²
• 3プラズマ化学修飾を用いた機能性材料の固定化率向上と選択的配置静大創造科技院 ^○荻野明久，永津雅章
• 4プラズマにより形成されるカーボンナノカリフラワーの解析とその構造変化による色彩特性群馬高専¹，東工大^{2 ○}鈴木淳史¹，狩野貴史¹，加藤正明¹，太田道也¹，大手丈夫¹，安田栄一²
• 5スパッタリング法を用いた自己組織化Fe/Pdナノドットの作製東大生研¹，韓国光云大²，芝浦工大^{3 ○}神子公男¹，具　正裕²，末永　亮³，野瀬健二¹，弓野健太郎³，光田好孝¹，河　在根²
• 6電子ビーム励起プラズマによる狭いスリット内の窒化豊田工業大 ^○大嶋伸明，市川洋次，大田幹史，原　民夫
•  休憩　10:30〜10:45
• 7ダブルマルチホロー放電によるシリコン粒子の表面窒化九大院情報システム¹，九大高等教育センター^{2 ○}内田儀一郎¹，佐藤宗治¹，川嶋勇毅¹，中原賢太¹，山本康介¹，山下大輔¹，松崎秀文¹，鎌滝晋礼²，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹
• 8SiO₂膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製 〜 Hf膜厚依存性防衛大 ^○北嶋　武，中野俊樹
• 9マイクロ波酸素プラズマ下流域におけるシリコン酸化特性のバイアス依存性東海大院工¹，東海大情報理工^{2 ○}小池　潤¹，五十嵐裕人²，進藤春雄^1,2
• 10PETフィルムの高密度プラズマ処理によるITO層の密着性向上II中部大工¹，東洋紡^{2 ○}小川恭史¹，梁　以資¹，加藤公孝¹，伊関清司²，菅井秀郎¹
• 11磁場下でのコロナ放電大気圧プラズマ処理によるPET及びPTFE表面の接着性向上大阪府立大21世紀科学研究機構¹，大阪府立産総研化学環境部²，大阪府立大工機械系専攻³，パール工業技術開発グループ^{4 ○（PC）}馮　宗宝^1,3，田原　充²，大久保雅章³，佐伯　登⁴