8. プラズマエレクトロニクス

15a-D - 1〜13


• 1反応性プラズマ中のナノ粒子成長に対する電力摂動の効果九大高推セ¹，九大シス情^{2 ○}鎌滝晋礼¹，宮田大嗣²，古閑一憲，内田儀一郎，板垣奈穂，山下大輔，松崎秀文，白谷正治
• 2微粒子プラズマにおけるバイアス印加及び変調された13.56 MHz高周波電力による微粒子空間分布の制御京都工繊大電子¹，マックスプランク研²，宇宙航空研究開発機構^{3 ○}高橋和生¹，Hubertus Thomas²，Ralf Heidemann²，Robert Suetterlin²，Lenaic Couedel²，Manis Chaudhuri²，Gregor Morfill²，足立　聡³
• 3水素プラズマとグラファイトの相互作用で発生したダストの壁へのフラックスに対する壁電位の影響九大¹，NIFS^{2 ○}宮田大嗣¹，西山雄司¹，岩下伸也¹，松崎秀文¹，山下大輔¹，鎌滝晋礼¹，内田儀一朗¹，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹，芦川直子²，増崎　貴²，西村清彦²，相良明男²
• 4温度勾配型サーマルプローブの径方向熱シールドに関する研究大阪府大工 ^○松浦寛人，稲垣直輝，中野　賢
• 5電子密度測定用マイクロ波共振プローブの高次モードへの拡張中部大工 ^○梁　以資，太田　習，加藤公孝，中村圭二，菅井秀郎
• 6コンパクト周波数シフトプローブによる電子密度測定中部大工 梁　以資，加藤公孝，熊崎恵未，^○中村圭二，菅井秀郎
• 7Arガスを用いた容量結合型RF放電のプローブ測定とシミュレーションの比較広国院大工 ^○久保　隆
• 8新エミッシブプローブ法による高周波プラズマの診断（II)東海大情報通信電子工学科¹，日本高周波^{2 ○}進藤春雄¹，竹内　創¹，中村龍紀¹，草場康太²
• 9水晶振動子センサーによるプラズマ計測におけるメッシュ開口長依存性産総研計測フロＲＩ ^○鈴木　淳，野中秀彦
• 10第１正帯減算による窒素原子アクチノメトリー測定と窒素プラズマ解離度への希ガス混入効果東工大院総理工¹，東工大原子炉研² 桑野　慧¹，根津　篤²，松浦治明²，^○赤塚　洋^1,2
• 11CCP-NLDスパッタ装置の基礎特性評価名大工¹，アルバック^{2 ○}水野裕也¹，松原考宏¹，林　俊雄¹，河野明廣¹，水谷直樹²，石川道夫²，鄒　弘綱²
• 12周波数領域型低コヒーレンス干渉計を用いた高精度Si基板温度計測和歌山大シス工¹，名城大理工²，名大院工^{3 ○}堤　隆嘉¹，太田貴之¹，伊藤昌文²，平岡丈弘³，堀　　勝³
• 13狭帯域レーザ吸収分光法を用いたマイクロホロカソード放電中のPb原子密度と温度測定和歌山大シス工¹，名城大理工²，NUエコ・エンジニアリング³，片桐エンジニアリング⁴，名大院工^{5 ○（D）}井上真里¹，太田貴之¹，田子多直樹¹，伊藤昌文²，加納浩之³，山川晃司⁴，堀　　勝⁵
•  昼食　12:15〜14:05

15p-D - 1〜19

• 1「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）
  プラズマプロセスにおける「その場・実時間」反応過程解析長崎大院　生産科学¹，長崎大工　電気電子²，トーヨーエイテック^{3 ○}河上貴聡¹，原幸治郎¹，川副大樹¹，稲吉孝紀¹，篠原正典¹，松田良信²，藤山　寛¹，新田祐樹³，中谷達行³
• 2レーザートムソン散乱計測の高信頼化のための多光子電離効率の測定名大工 ^○松田行高，荒巻光利，河野明廣
• 3Study of Dielectric Barrier Discharge Using Laser Thomson Scattering Diagnostics九大総理工 ^○（D）Nima Bolouki，富田健太郎，山形幸彦，内野喜一郎
• 4Spatial distribution measurement of the electron temperature and density of 60 Hz nonequilibrium atmospheric pressure plasma by laser Thomson scattering名大¹，NU エコ・エンジニアリング^{2 ○}賈　鳳東¹，鷲見直也¹，石川健治¹，加納浩之²，乾　裕俊¹，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根　誠¹，堀　　勝¹
• 5水素プラズマから放射される真空紫外光の絶対強度計測名大工¹，東芝研究開発センター²，北大工^{3 ○（M1）}財満和典¹，栗原一彰²，佐々木浩一³
• 6有磁場水素プラズマにおける水素原子バルマーアルファ線の飽和吸収スペクトル名大工¹，核融合研²，北大工^{3 ○}浅川れんげ¹，河野明廣¹，後藤基志²，佐々木浩一³
• 7紫外LEDを用いたスパッタAl原子密度の吸収計測長崎大院生産科学¹，長崎大工² 進藤亮太¹，平嶋彰典¹，小峰一輝¹，篠原正典¹，^○松田良信²
• 8対向ターゲットスパッタプラズマ中の^46-50Ti原子飽和吸収スペクトル東京工芸大工学研究科 ^○小野裕輔，安田洋司，西宮信夫，鈴木正夫
• 9酸化物ターゲットマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子挙動シミュレーション名大院工¹，名大プラズマナノ²，アルバック超材研³，ルネサス⁴，NECグリーン研^{5 ○}後藤和也¹，石島達夫²，森田　正³，小野一修³，大嶋則和⁴，木下啓藏⁵，豊田浩孝^1,2
•  休憩　16:20〜16:30
• 10改良型出現質量分析法による
  SiH₄/H₂マイクロ波プラズマ中のラジカル絶対密度計測名大工¹，名大プラズマナノ^{2 ○}黒田俊之¹，池田昌平¹，石島達夫²，豊田浩孝^1,2
• 11太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子表面損失確率（II）名大院工¹，JST-CREST^{2 ○}阿部祐介¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 12Ar/O₂/H₂表面波プラズマを用いたSi酸化プロセスにおける基板バイアス印加効果名大院工¹，JST-CREST^{2 ○}竹田圭吾^1,2，堀　　勝^1,2
• 13アモルファス炭素薄膜の成長過程の基板温度依存性長崎大院生産科学¹，長崎大工　電気電子^{2 ○（M1）}原幸治郎¹，河上貴聡¹，篠原正典¹，松田良信²，藤山　寛¹
• 14重水素プラズマとアモルファス炭素薄膜表面との反応の基板温度依存性長崎大院　生産科学¹，長崎大工　電気電子^{2 ○（M2）}河上貴聡¹，原幸治郎¹，川副大樹¹，篠原正典¹，松田良信²，藤山　寛¹
• 15大気圧アトマイゼーションプラズマにおけるプラズマ長、Ar流量依存性名大¹，NUエコ・エンジニアリング²，和歌山大³，名城大^{4 ○}Jagath Kularatne¹，加納浩之²，太田貴之³，伊藤昌文⁴，竹田圭吾¹，近藤博基¹，堀　　勝¹
• 16非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究名大院工¹，JST-CREST^{2 ○}加藤正規¹，竹田圭吾^1,2，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 17非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラジカル密度依存性名大院工¹，和歌山大シス工²，名城大理工³，NU エコ・エンジニアリング⁴，NU システム^{5 ○（DC）}井関紗千子¹，太田貴之²，伊藤昌文³，加納浩之⁴，東島康裕⁵，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠¹，堀　　勝¹
• 18微小な入り口から狭い閉塞空間に導入されたプラズマ構成要素の挙動群馬高専 ^○小林洋平，松本聖誠，加藤正明，大手丈夫
• 19放電開始電圧を用いた細管ランプ中のNe準安定原子の寿命計測法神奈川工科大 ^○後藤みき，荒井俊彦