7. ビーム応用

7.2 電子顕微鏡,評価,測定,分析

9月17日 9:00〜12:00  会場:全本-E

17a-E - 1〜11

  • 1傾斜照明下における3次元フーリエフィルタリング法の収差補正機能拡張阪大院工 中谷文弥,北出晃平,高井義造
  • 2TEM Tomography用柱状試料への金マーカー付着方法産総研 林田美咲,寺内信哉,藤本俊之
  • 3酸化ニッケルに担持した金微粒子の電子顕微鏡観察産総研 ユビキタス 秋田知樹,田中真悟,田中孝治,香山正憲
  • 4環境セル電子顕微鏡のための窒化シリコン/カーボン隔膜の開発名大院工1,JST さきがけ2,近大理工3,名大エコトピア4 美浦拓也1,川崎忠寛1,2,筒井秀徳3,松谷貴臣3,丹司敬義4
  • 5SEMとTOF-SIMSによる画像分析を用いた微小粒子の分析法工学院大・院 和田仁志,大石乾詞,坂本哲夫
  • 6低速透過電子回折のスポット強度解析装置の開発早大理工1,アプコ2,ホロン3 深瀬和也1,石川 剛1,千代田直紀1,宮越ゆき子1,齋藤秀一2,米澤 彬3,大島忠平1
  •  休憩 10:30〜10:45
  • 7逆X線光電子ホログラフィー東北テクノアーチ1,東北大金研2,JASRI3,堀場製作所4 上坂彰朗1,林 好一2,松下智裕3,新井重俊4
  • 8絶縁体基板上の金属パターンの帯電モデリング日立中研 岡井信裕,矢野 資,早田康成
  • 9帯電シミュレータの開発と帯電現象への適用(1)日立 日立研1,日立ハイテクノロジーズ2 李  燦1,横須賀俊之1,小林金也1,数見秀之2
  • 10帯電シミュレータの開発と帯電現象への適用(2)日立 日立研1,日立ハイテクノロジーズ2 横須賀俊之1,李  燦1,小林金也1,数見秀之2
  • 11電子ビーム照射に伴う絶縁体帯電現象解析のためのシミュレーション高速化大阪工大 小寺正敏,長田 明