基礎講座	応用物理、第79巻、第8号、p.0754-0757 (2010)

走査電子顕微鏡で何が見えているの？ 本間芳和 　走査電子顕微鏡像には，試料表面のマクロな形状だけでなく，ドーパントや結晶性などによる材料物性，原子レベルの形状や構造変化，帯電状態の変化などを反映したさまざまなコントラストが現れる．これらのコントラストは半導体材料やナノ構造体の実用的な観察法として利用されている．

東京理科大学理学部物理学科 [full text PDF](921KB)

Fundamental Lecture

OYO BUTURI, Vol.79, No.08, p.0754-0757 (2010)

What can we see with a scanning electron microscope? Yoshikazu HOMMA 　Secondary electron images obtained with a scanning electron microscope reflect not only the macroscopic morphology of a sample but also the electric, crystallographic and chemical properties of the material, atomic-scale surface structures, and charge states. The contrasts caused by these factors are utilized for evaluating semiconductors and nanomaterials.

Department of Physics, Tokyo University of Science Keywords：secondary electron image, dopant contrast, crystalline contrast, atomic step, carbon nanotube, graphene