応用物理, 第64巻, 第6号 (1995)

• 巻頭言
  • 森の中のサイエンス　　江崎 玲於奈

• 総合報告
  • 反応性プラズマの制御と高精度プラズマプロセス　　板谷 良平
  • レーザー・ビームと非金属固体表面との相互作用 　　伊藤 憲昭，金崎 順一，岡野 晃子，中井 靖男

• 解説
  • 低温プロセスプラズマモデリングの現状と課題　　　真鍋 利明
  • Si-LSI における Cu 配線 　　栗屋 信義，大野 一英，有田 睦信

• 最近の展望
  • IV 族元素のレーザーアブレーション機構と超微粒子 　　粕谷 厚生

• 研究紹介
  • ミー散乱エリプソメトリー　−プラズマ中微粒子成長過程の 新しいインプロセス計測法−　　林　康明，橘　邦英
  • 放射光全反射蛍光分析による汚染形態評価 　　淡路 直樹，古宮　聡
  • イオンビームデポジション法による高耐食・高純度鉄薄膜の形成 　　三宅　潔，大橋 健也，大橋 鉄也，高橋 宏昌，伊藤　修， 峯村 哲郎
  • 宇宙に存在する極端条件プラズマ　　市川 行和
  • 超高真空原子間力顕微鏡による化合物半導体へき開面の接触 および非接触原子分解能観察　　太田 昌弘，上山 仁司， 菅原 康弘，森田 清三

• 技術ノート　＜プラズマ計測＞
  • 出現質量分析法によるラジカル計測　　菅井 秀郎
  • 光脱離による負イオンの計測　　　　　河野 明廣
  • レーザープラズマの時間・空間分解軟X線吸収分光計測 　　宮下 敦巳

• 講演会報告
  • 第42回応用物理学関係連合講演会(1995年)