「応用物理」2017年4月号 掲載第11回集積化MEMS技術研究会

  • 主催 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会
  • 日時 2017年5月26日(金)
  • 場所 九州大学伊都キャンパス 稲盛財団記念館 1階 稲盛ホールC
    〒819-0395 福岡県福岡市西区元岡744 TEL:092-642-2111
    http://www.kyushu-u.ac.jp/ja/campus/ito/
  • 趣旨 集積化MEMSは,次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than Moore技術の1つとして,最近,注目を集めています.本研究会は,MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて,材料,プロセス,デバイス構造,実装技術,高歩留まり技術,高信頼化技術などを視野に入れ,基礎研究から実用化に至るまでのさまざまな段階に関する活発な議論の場を提供します.今回は主として「光-テラヘルツ 通信とセンシング」に焦点を当てて,最近の動向について一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたします.また,本研究会を九州大学伊都キャンパスにて開催するにあたり,九州大学伊都キャンパスの見学を研究会に引き続き企画いたしました.多くの方の御参加をお待ちしております.
  • 講演分野 CMOS-MEMS技術,材料,プロセス,デバイス構造,実装技術,高歩留まり技術,高信頼化技術
  • 参加費 A会員(応物会員以外),B会員(応物会員),賛助会員,学生,および入会手続き中の会員は無料,左記以外の協賛会員および非会員は5000円
  • 参加申込方法 下記情報を記入し電子メールでお申し込みください.
    応用物理学会第11回集積化MEMS技術研究会 参加申込と明記し,氏名,所属機関,電子メール,電話,連絡先住所,研究会会員,会員/非会員(会員番号),研究会参加の有無,見学会参加の有無,懇親会参加の有無
    e-mail:abcintegmems abcames|pi|titech|ac|jp
    URL:http://annex.jsap.or.jp/MEMS/