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「応用物理」2016年10月号 掲載第27回プラズマエレクトロニクス講習会「プラズマプロセスの基礎と先端分野への応用」

  • 主催 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
  • 日時 2016年11月18日(金) 9:30〜19:00
  • 場所 東京大学本郷(浅野)キャンパス 武田先端知ビル「武田ホール」
    http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_16_j.html
  • 趣旨 プラズマプロセスは,エレクトロニクス分野では先端デバイスの開発・製造を支える技術であるとともに,医療やエネルギー・環境応用をはじめとする幅広い分野でも欠くことのできない基盤技術となりつつあります.このような背景を踏まえ,本講習会では,産業応用で必要とされるプロセスプラズマの生成,診断・制御の基礎と,その先端応用技術について各分野にて第一線でご活躍の先生方よりご講義いただきます.今年は,プラズマエッチング,熱プラズマ,プラズマシミュレーション,プラズマプロセスの基礎についてご紹介いたします.初学者から先端の研究開発者まで幅広い皆様のご参加をお待ち申し上げます.
  • プログラム [第1部:プラズマ技術の最前線]
    • 「先端半導体におけるプラズマエッチング」根岸伸幸(日立製作所)
    • 「熱プラズマによる有害物質分解」 渡辺隆行(九州大学)
    • 「プラズマシミュレーション」小田昭紀(千葉工業大学)
    [第2部:プラズマプロセスの基礎]
    • 「プラズマ計測・診断−反応性プラズマ中微粒子を中心として−」古閑一憲(九州大学)
    • 「プラズマの生成と基礎」堀勝(名古屋大学)
  • 参加費 応物・PE分科会個人会員18,000円(4,000円)
    応物個人会員21,000円(5,000円)
    分科会のみの個人会員22,000円(6,000円)
    協賛学協会,応物法人賛助会員22,000円(6,000円)
    その他25,000円(9,000円)
    ※ ( )内は学生
  • 定員 100名
  • 申込締切 2016年10月28日(余裕のある場合には期日後も受け付けます)
  • 申込方法 下記プラズマエレクトロニクス分科会のホームページよりお申し込みのうえ,下記口座へ振り込み願います.
    URL: https://annex.jsap.or.jp/limesurvey/index.php/613856/lang-ja
    三井住友銀行 本店営業部 普通預金 3339808 (公社)応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
  • 申込先 小田 康代(応物事務局)
    Tel:03-5802-0863
    e-mail:
  • 内容問合せ先 林 久貴(幹事代表・東芝)
    e-mail:hisataka.hayashi@toshiba.co.jp
  • 担当幹事 中川 雄介(三菱電機),今村 翼(東芝),笠嶋 悠司 (産業技術総合研究所),大森 健史(日立製作所),竹内 希(東京工業大学),三好 康史(ソニーセミコンダクタソリューションズ),布村 正太(産業技術総合研究所),山澤 陽平(東京エレクトロン)