講演会付随
第34回応用物理学会スクールB
（2004年 春季）
〈プラズマエレクトロニクス分科会企画〉
最先端技術を支えるプラズマ科学 −ナノからバイオテクノロジーまで−
プラズマ科学はこれまで，光源・レーザ・粒子ビームなどの放電応用，核融合開発，宇宙開発，さらに半導体プロセシングやプラズマディスプレーパネルなど先端技術の多岐にわたる分野で研究が展開され発展してきました．特に，プラズマを用いた薄膜形成・表面改質や微細加工技術，いわゆるプラズマプロセス技術は，種々の薄膜材料加工を効率よく行える実用的なプロセス技術として，この20数年で飛躍的な発展を見せ，今日，薄膜材料･マイクロエレクトロニクス・MEMS分野における最も重要で不可欠な基盤技術の一つとなっています．プラズマ科学は，これまで，基礎研究と応用研究が表裏一体で発展してきた，といって過言でありません．このようなプラズマ科学の研究と発展は今日も不断に続き，最近では，大気圧あるいはそれ以上の高い圧力の非平衡プラズマ技術が開発され，ナノテクノロジー・バイオテクノロジーの最先端技術分野でも基礎・応用研究を展開しています．本スクールでは，学生，あるいはプラズマに興味がありこれから使いたい，プラズマを現在使っているが本質がよくわからないという研究者・技術者を対象として，最新のプラズマ技術・プラズマプロセス技術について基礎から最近の話題までを解説します．さらに，ナノテクノロジー・バイオテクノロジー分野における最新のプラズマ応用技術の研究開発を紹介・解説することにより，応用物理学とプラズマ科学・技術の一層の発展に供します．| 期日： | 2004年3月28日（日）(春季講演会初日） | |||||||||||
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| 会場： | 東京工科大学（東京都八王子市） ［JR横浜線「八王子みなみ野」駅西口よりスクールバス利用（約7分)］ |
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| 参加定員： | 200名（申し込み順に受け付けます） | |||||||||||
| 受講費： | 当日スクール会場にてお支払いください．
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| 申込方法： | E-mail，FAX，はがきのいずれかにて
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| 申込先・ 問合せ先： |
〒102-0073 東京都千代田区九段北1-12-3 井門九段北ビル5F （社）応用物理学会 スクール係 TEL: 03-3238-1041 FAX: 03-3221-6245 E-mail:  |
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| 申込締切： | 2004年3月23日（火）
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| 1 | 9：00-9:05 はじめに 斧 高一（京都大学大学院工学研究科） |
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| 2 | 9:05〜9:50 非平衡プラズマ生成の基礎−低気圧から高気圧まで− 菅井秀郎（名古屋大学大学院工学研究科） |
| 3 | 9:50〜10:35 大口径プラズマ生成と先端プロセス応用技術 近藤道雄（産業技術総合研究所） |
| 10:35〜10:50 休憩 |
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| 4 | 10:50〜11:35 プラズマナノプロセスの展開−トップダウンからボトムアップへ− 堀 勝（名古屋大学大学院工学研究科） |
| 11:35〜12:35 昼食 |
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| 5 | 12:35〜13:20 大気圧非平衡プラズマの発展と応用 −5分で出来る Desktop Laboratory− 白井 肇（埼玉大学工学部） |
| 6 | 13:20〜14:05 プラズマが切り拓くナノマテリアルフロンテイア 寺嶋和夫（東京大学大学院新領域創成科学研究科） |
| 14:05〜14:20 休憩 |
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| 7 | 14:20〜15:05 プラズマバイオ応用が拓く技術革新の世界潮流と展望 一木隆範（東洋大学工学部） |
| 8 | 15:05〜15:50 新しいビームを用いたインテリジェントナノプロス 寒川誠二（東北大学流体科学研究所） |
| 9 | 15:50〜16:05 まとめ 白谷正治（九州大学大学院情報科学研究院） |