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応用物理学会主催
講演会付随
第39回応用物理学会スクール（2006年秋季）
＜共催：立命館大学マイクロシステム技術研究センター＞

最近のマイクロ・ナノ微細加工技術とMEMSの産業応用

マイクロマシンの研究は、1970年代センサの試作に始まり、その後1980年代後半に数百μmサイズの歯車やモータなど動くデバイスがSi基板上に試作されて、一躍脚光を浴びるようになりました。微細加工技術は、当初Si材料が中心でしたが、その後LIGAプロセスやナノインプリント法など、Si以外の材料の加工技術も進展して、今日ではナノプロセス技術との融合により、より微細で高度な加工が可能になってきました。また、デバイスでは加速度センサ、圧力センサ、ディスプレイデバイスなどが実用になり、その後光通信デバイス、高周波通信デバイス、さらにバイオや医療応用デバイスの開発が進み、今日これらはMEMS（マイクロ電気機械システム：Micro Electro Mechanical Systems）として、広い産業分野で新しいデバイスシステムを展開しつつあります。
このスクールでは、マイクロ・ナノ微細加工技術とその応用デバイスについて、原理から最近の話題まで分かりやすくご紹介していただきます。

詳細

期日：	2006年8月30日（水）（秋季講演会2日目）
場所：	立命館大学　びわこ・くさつキャンパス　ローム記念館 （滋賀県草津市野路東1-1-1） JRびわこ線（東海道線）南草津駅より近江鉄道バス約10分 ＊詳しくは，会誌8月号掲載の［第67回応用物理学会学術講演会プログラム］の交通案内図または，ホームページ http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/index.htmlをご覧下さい。
申込方法：	定員に達しましたので、申込は締切らせて頂きます。
参加定員：	120名（申込み順）
受講費：	無料
テキスト：	当日会場にて頒布いたします． （1冊1,000円，ご希望の方のみ）．
問合せ先：	〒102-0073 東京都千代田区九段北1-12-3　井門九段北ビル5F （社）応用物理学会スクール係 TEL : 03-3238-1041 FAX : 03-3221-6245 E-mail :

プログラム

	9:25 〜 9:30 ご挨拶 教育・公益事業委員長
概論
1	9:30 〜 10:00 MEMS・集積化の進展と新産業創出への期待 杉山　進　（立命館大学） MEMSにおける集積化の動向と最近の技術について
微細加工技術
2	10:00 〜 10:40 シリコンの微細加工技術 佐藤一雄（名古屋大学） シリコンを構造体とするMEMSデバイスの加工プロセスの基礎と新技術
3	10:40 〜 11:20 LIGAプロセス 宮野公樹（京都大学） SR光を用いた高アスペクト比構造物形成技術の基礎とその応用
4	11:20 〜 12:00 ナノインプリント技術 平井義彦（大阪府立大学） ナノインプリントの原理（熱インプリント、光インプリント）と要素技術、リバーサルインプリントによる3次元成型など
	12:00 〜 13:00 昼　食
MEMSの基礎と応用
5	13:00 〜 13:40 マイクロセンサの基礎 江刺正喜（東北大学） 代表的なマイクロセンサの原理と応用
6	13:40 〜 14:20 マイクロアクチュエータの基礎 小西　聡（立命館大学） 代表的なマイクロアクチュエータの原理と応用
7	14:20 〜 15:00 MEMSの情報通信・自動車応用 堤　和彦（三菱電機株式会社） RFスイッチなどの高周波通信デバイス応用、自動車用センサなど
	15:00 〜 15:20 休憩
8	15:20 〜 16:00 MEMSの化学分析・バイオ応用 中西博昭（株式会社島津製作所） MEMS技術で加工した微小空間を化学分析・バイオ分野に応用する例について
9	16:00 〜 16:40 医療用マイクロマシン・MEMSの現状 三原　孝士（オリンパス株式会社） マイクロマシン、MEMS、ナノバイオの医療応用（観察、診断を中心に）

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