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第46回応用物理学会スクール(2010年春季) 集積化MEMS技術−基礎から応用

<企画:集積化MEMS技術研究会>

近年MEMSの市場は、加速度センサ、圧力センサ、ディスプレイデバイスなどの実用化を例に、予想以上の確実な伸びを示しています。集積化MEMSデバイスは、半導体産業の次のビジネスキーデバイスと考えられています。現状、集積化MEMS技術として、MEMSの集積化、CMOSLSIとの集積化などさまざまな提案がされています。特に、世界的潮流として、MEMS技術とLSI技術との融合は、重要な課題でありMore than Mooreの一つの解として期待され研究開発が活発化しています。

一方で、MEMS技術と「集積化」については、材料、プロセス、デバイス構造、統合設計技術、CMOSとMEMSとの融合技術、実装技術、高歩留り技術、高信頼化技術等多くの研究課題が顕在化してきています。このスクールでは、集積化MEMS技術の基礎から応用について、原理、課題、最近の話題まで分かりやすくご紹介していただきます。
詳細
期日: 2010年3月18日(木) 春季講演会2日目
会場: 東海大学(神奈川県平塚市北金目1117)総合体育館特設会場(ZV会場)
参加定員: 200名(申込順に受け付けます)
受講費: 無料
テキスト: 当日会場にて頒布いたします.(1冊1000円,ご希望の方のみ)
参加申込: 参加申し込みURL
https://annex.jsap.or.jp/phpESP/public/survey.php?name=2010Sscool1
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ご不便をお掛けいたしますが、宜しくお願い申し上げます。
プログラム
1 9:25〜9:30
ごあいさつ
(教育・公益事業委員会委員長)渡辺 美代子(東芝)
2 9:30〜9:40
イントロダクトリトーク
益 一哉(東工大)
3 9:40〜10:10
[基調講演] 集積化MEMS技術
石田 誠(豊橋技科大学)
4 10:10〜10:50
MEMSデバイスとプロセス技術
田中 秀治(東北大学)
5 10:50〜11:30
MEMSの統合設計技術
年吉 洋(東京大学)
6 11:30〜12:10
MEMSデバイスの材料技術
秦 誠一(東工大)

12:10〜13:00
昼食
7 13:00〜13:40
集積化センサとその応用
前中 一介(兵庫県立大)
8 13:40〜14:20
MEMSデバイスの実装におけるパッケージング技術の課題と動向
千野 満(ミスズ工業)
9 14:20〜15:00
集積化MEMS技術の無線通信デバイスへの応用
桑原 啓(NTT)

15:00〜15:20
休憩
10 15:20〜16:00
エネルギーハーベストとMEMS
鈴木 雄二(東京大学)
11 16:00〜16:40
MEMSセンサーのテスト技術
渡部 彰一(東京エレクトロン)
12 16:40〜17:00
総合討論
益 一哉(東工大)