応用物理学会
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第5回(2004年度)応用物理学会 業績賞

第5回 応用物理学会業績賞(研究業績)

件 名:シリコンMOSデバイスの先駆的研究とLSI技術発展への貢献
受賞者:菅野 卓雄






第5回 応用物理学会業績賞(研究業績)

件 名:ビーム技術の半導体工学への応用に関する先駆的研究
受賞者:難波 進



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