8 プラズマエレクトロニクス
 
3月30日(月)
3月31日(火)
4月1日(水)
4月2日(木)
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プラズマエレクトロニクス分科内招待講演       3A-Q 13:15〜14:15        
8.1 プラズマ生成・制御           3L-T 13:15〜18:30 3L-T 9:00〜12:00  
8.2 プラズマ診断・計測 1C-ZX 9:45〜12:30 1C-ZX 13:30〜17:30            
8.3 プラズマ成膜・表面処理     1C-ZT(ショート口頭講演) 9:30〜11:55 →ポスター
15:30〜17:30
       
8.4 プラズマエッチング           1C-ZW 13:30〜18:00 1C-ZW 9:30〜11:45  
8.5 プラズマナノテクノロジー       3A-Q 14:15〜17:15        
8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野 3A-L 9:30〜12:45   3A-Q 9:00〜12:15