13 半導体A(シリコン)
 
3月30日(月)
3月31日(火)
4月1日(水)
4月2日(木)
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分科内総合講演「今後のLSI配線における金属材料技術」           2B-ZF 13:30〜17:30    
13.1 基礎物性・評価         1体-P13(ポスターセッションのみ) 9:30〜11:30   1体-P17(ポスターセッションのみ) 9:30〜11:30  
13.2 半導体表面         3A-S 10:00〜13:00 3A-S 14:00〜18:00    
13.3 絶縁膜技術   3A-S 13:00〜17:15 3A-S 9:45〜13:00 3A-S 14:00〜18:45 1C-ZT 9:15〜12:30   1C-ZT 9:00〜12:00 1C-ZT 13:00〜15:00
13.4 配線技術     2B-ZG 9:30〜12:30 2B-ZG 14:00〜17:00 2B-ZF 9:15〜12:30      
13.5 Siプロセス技術 3L-T 9:00〜12:00 3L-T 13:00〜17:30 3L-T 9:00〜12:00 3L-T 13:00〜18:45 3L-T 9:00〜12:15      
13.6 Siデバイス/集積化技術 3L-V 9:00〜12:00 3L-V 13:00〜17:30     3L-V 9:00〜12:00 3L-V 13:00〜17:30 3L-V 9:00〜11:45 3L-V 12:45〜14:15
13.7 シミュレーション     3L-V 9:00〜12:45